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在过去的20年中,人们已经开发出了种类繁多的MEMS加速度计,其中大多数都是基于同样的机械系统:带有一个与弹簧相连的敏感质量.弹簧的形状可以是薄膜片式、悬臂梁式或者其它一些结构.
使MEMS技术更为经济
【摘 要】
：
在过去的20年中,人们已经开发出了种类繁多的MEMS加速度计,其中大多数都是基于同样的机械系统:带有一个与弹簧相连的敏感质量.弹簧的形状可以是薄膜片式、悬臂梁式或者其它一
【机 构】
：
MEMSIC公司
【出 处】
：
电子产品世界
【发表日期】
：
2004年4期
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