【摘 要】
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分步重复缩小投影曝光技术是一种采用现有的光学镜头,通过“分而治之”,达到以较细线条覆盖较大面积的手段.本文介绍采用这项技术制作出的几种SAW高频器件掩模,用它刻出的器
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所,四川压电与声光技术研究所,四川压电与声光技术研究所
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分步重复缩小投影曝光技术是一种采用现有的光学镜头,通过“分而治之”,达到以较细线条覆盖较大面积的手段.本文介绍采用这项技术制作出的几种SAW高频器件掩模,用它刻出的器件,获得了良好的性能.
Step-by-step reduction of repeated projection exposure technology is a use of the existing optical lens, through the “divide and rule” to reach a thinner lines cover a larger area.This article describes the use of this technology produced several SAW high-frequency device mask Die, using it carved out of the device, get good performance.
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