【摘 要】
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气体绝缘金属封闭线路（GIL）和气体绝缘金属封闭开关设备（GIS）中的金属微粒污染是影响设备绝缘性能的主要因素之一，而电极表面覆膜能够在一定程度上提高直流应力下金属微粒的启举电
【机 构】
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郑州大学电气工程学院,中国科学院电工研究所,中国科学院电力电子与电气驱动重点实验室
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)(2014CB239505-3);国家自然科学基金面上项目(11575194);清华大学电力系统及大型发电设备安全控制和仿真国家重点实验室开放课题(SKLD17KM06)资助项目
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气体绝缘金属封闭线路（GIL）和气体绝缘金属封闭开关设备（GIS）中的金属微粒污染是影响设备绝缘性能的主要因素之一，而电极表面覆膜能够在一定程度上提高直流应力下金属微粒的启举电压。本文探索一种使用等离子体射流对金属电极表面处理以抑制金属微粒启举的方法。利用高频交流电源激励产生大气压等离子体射流在Cu表面沉积SiO2-TiO2复合薄膜，获得由厚度约2μm的TiO2薄膜和3.5μm的SiO2薄膜组成的致密复合薄膜，并且在测试频率为1kHz时TiO2和SiO2薄膜的相对介电常数分别为24和4左右。此外搭建金属微
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