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描述了Ｓ波段单片四位数字移相器的电路设计、工艺制作和功能。采用集总元件的高通／低通网络构成移相网络和ＧａＡｓ ＭＥＳＦＥＴ作为开关控制器件，利用南京电子器件研究所标准的离子注入微波单片集成电路（ＭＭＩＣ）制造工艺，研制出Ｓ波段单片四位数字移相器。该移相器在设计工作频带内１６个移相态具有移相精度高，输入输出驻波好和较低的插入损耗与插损变化等优良的电特性。芯片尺寸为６．４５ｍｍ×１．４ｍｍ×０．２ｍｍ