氩离子在反应离子腐蚀Ⅲ-Ⅴ族材料中的作用

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本文以一些实例和所得到的结果来说明Ar~+离子在抑制晶向腐蚀作用、调节钝化阻挡层,以及清除微粒淀积物等方面的作用。 In this paper, some examples and the results obtained to illustrate the Ar ~ + ions in inhibiting the role of crystal corrosion, regulating the passivation barrier, as well as the role of clear particulate deposits and so on.
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