【摘 要】
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<正> 制造高精度的衍射光栅是相当困难的,必须用高精度的刻划设备及先进的工艺技和才能刻制而成。以这种光栅作母版,再用特殊的复制工艺技术,可以制造出很多与母版光栅近似光
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<正> 制造高精度的衍射光栅是相当困难的,必须用高精度的刻划设备及先进的工艺技和才能刻制而成。以这种光栅作母版,再用特殊的复制工艺技术,可以制造出很多与母版光栅近似光栅,称为复制光栅。在毛坯清洗,镀汕,镀铝、涂胶、烘烤、分离等全套工艺过程中,其中镀油,镀铝是影响复制光栅精度的关键技术。复制光栅的集光效率,中心衍射波长的位置,衍射波阵面误差,是衡量复制光栅精度的几项最重要指标。本文将重点分析和论述复制光栅工艺过程中真空镀铝,镀油是如
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