论文部分内容阅读
AlN 电影被在各种各样的底部电极上劈啪作响的反应收音机频率 RF 扔，例如艾尔， Ti，瞬间， Au/Ti，和 Pt/Ti。AlN 薄电影的取向上的底层金属的效果被调查。X 光检查衍射，原子力量显微镜学，和地排放扫描电子显微镜学的结果证明 AlN 电影的取向显然取决于底层金属的类型。在各种各样的金属电极上扔的 AlN 电影的差别在在 AlN 材料和底层金属之间的格子失配和热扩大系数被归因于差别。在 Pt/Ti 电极上扔的 AlN 电影高度与井粗糙的圆柱的结构揭示 c 轴取向。在完成高质量的 AlN 电影