【摘 要】
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为解决高纯石英SiO2纯度检测结果存在准确度低和精确度差的缺陷，拟构建高纯石英SiO2纯度检测方法，包括化学分析法和仪器分析法。通过设计预处理过程耦合响应曲面法获取了优化的测试操作参数，并分析了高纯石英中杂质的主要种类以及杂质类别对检测结果精确度的影响。结果表明，HF酸剂量、样品质量对测试结果的影响大于消解温度和消解时间；化学分析法适用于纯度为99.0%～99.9%的高纯石英样品，相对标准偏差（R
【基金项目】
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企业自主研发项目（CRC-2022-K-11）；
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为解决高纯石英SiO2纯度检测结果存在准确度低和精确度差的缺陷，拟构建高纯石英SiO2纯度检测方法，包括化学分析法和仪器分析法。通过设计预处理过程耦合响应曲面法获取了优化的测试操作参数，并分析了高纯石英中杂质的主要种类以及杂质类别对检测结果精确度的影响。结果表明，HF酸剂量、样品质量对测试结果的影响大于消解温度和消解时间；化学分析法适用于纯度为99.0%～99.9%的高纯石英样品，相对标准偏差（RSD）≤5%，仪器分析法适用于纯度为99.99%的高纯石英样品，RSD≤20%。因此，构建的检测方法适用于高纯石英中SiO2纯度检测，具有低检出限和灵敏度高的优点。
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