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综述了金刚石膜的性能和制备方法，着重介绍丁国内外常用的封接工艺，讨论了该材料在mm波器件中的应用前景。
金刚石膜在真空电子器件输出窗中的应用
【摘 要】
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综述了金刚石膜的性能和制备方法，着重介绍丁国内外常用的封接工艺，讨论了该材料在mm波器件中的应用前景。
【机 构】
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北京真空电子技术研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2006年4期
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