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在玻璃表面上通过磁控溅射金属钛薄膜，再运用阳极氧化使钛薄膜氧化生成纳米氧化钛，经过8h，180℃的退火处理使其晶化。运用扫描电镜观察了晶化处理前后薄膜的表面形貌，用电子探针对薄膜进行了表征。通过x-射线衍射图谱表明，晶化处理后薄膜具有典型的晶体结构衍射峰尖锐特征，为锐钛矿纳米晶氧化钛薄膜；电子探针成分分析与x-射线衍射结果一致。最后讨论了其应用前景。