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日本Kojundo化学实验公司最近开发成功二乙基镓氯化物制造新工艺,它将取代三甲基镓,应用于MO—CVD(金属有机气相沉积化合物),并已有样品供半导体制造厂家使用。 Kojundo的制造方法由于工艺流程减少了一半,它的制造成本降低为原来的十分之一。
低成本二乙基镓氯化物新工艺
【摘 要】
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日本Kojundo化学实验公司最近开发成功二乙基镓氯化物制造新工艺,它将取代三甲基镓,应用于MO—CVD(金属有机气相沉积化合物),并已有样品供半导体制造厂家使用。 Kojundo的制
【出 处】
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浙江化工
【发表日期】
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1985年1期
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