【摘 要】
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薄膜厚度的测量,是真空镀膜技术中的一项重要内容。根据Fizeau条纹原理,做成了一种简易透射式多光束等厚干涉测定薄膜厚度的装置。它可以测量微米级的薄膜厚度,检查光学平面
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薄膜厚度的测量,是真空镀膜技术中的一项重要内容。根据Fizeau条纹原理,做成了一种简易透射式多光束等厚干涉测定薄膜厚度的装置。它可以测量微米级的薄膜厚度,检查光学平面的质量,测量细丝的直径和光的折射率等,精度在2％左右。一、实验原理由光的干涉原理可知,任意两个相邻的明条纹或暗条纹之间的距离l由下式决定
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