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以铁和钴的硝酸盐为主要原料,采用sol-gel旋涂法在Si（001）基片上制备了不同厚度的CoFe2O4（CFO）薄膜。研究了薄膜厚度对其结构、形貌及磁性能的影响。结果表明：随着其厚度的增大,薄膜的结晶度变好,薄膜晶粒度逐渐增大到70nm。Ms随着薄膜厚度的增大先增大后减小;Hc的变化规律和Ms相反。当薄膜厚度为800nm时,Ms达到最大值59.2A·m2/kg,此时Hc最小为106.7kA/m。该薄膜具有高度的平行各向异性。