【摘 要】
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本实验使用真空加热烘烤来脱附表面残气,在不影响器件性能的前提下,即在器件能经受的热负载条件下,尽量提高烘烤温度,最大限度地脱附真空层内吸附的残气,同时应用四极质谱系
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所
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本实验使用真空加热烘烤来脱附表面残气,在不影响器件性能的前提下,即在器件能经受的热负载条件下,尽量提高烘烤温度,最大限度地脱附真空层内吸附的残气,同时应用四极质谱系统记录相应的谱图,以分析杜瓦瓶在加热烘烤时脱附的残气。
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