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利用等离子体增强化学气相沉积技术（PECVD）在单晶硅（100）表面上制备了一层含有六方金刚石结构的碳氢薄膜。采用透射电子显微镜和拉曼光谱仪对薄膜结构进行表征；并用Nano-indenterⅡ型纳米压痕仪和CSM—摩擦磨损试验机对薄膜的力学性能和摩擦学性能进行了测试。结果表明：该碳氢薄膜含有六方金刚石结构，另外还含有少量的纳米弯曲石墨片段；与制备的类金刚石碳氢薄膜相比，该薄膜具有较好的力学性能，同时该薄膜在空气环境下表现出了较好的摩擦学性能。