【摘 要】
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MEMS产业正处于一个飞速发展的阶段,但MEMS的早期测试仍是一个很大程度上被忽略的领域。MEMS的制造与经典的IC制造类似,但MEMS器件通常含有机械部分,因此封装占整个MEMS器件
【机 构】
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SUSS MicroTec Test Systems GmbH,SUSS MicroTec Test Systems GmbH,
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MEMS产业正处于一个飞速发展的阶段,但MEMS的早期测试仍是一个很大程度上被忽略的领域。MEMS的制造与经典的IC制造类似,但MEMS器件通常含有机械部分,因此封装占整个MEMS器件成本的大
MEMS industry is in a stage of rapid development, but the early testing of MEMS is still a largely neglected area. MEMS is manufactured analogously to classic IC fabrication, but MEMS devices often contain mechanical parts, so packaging accounts for the cost of the entire MEMS device
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