1 前言rn 随着新激光装置的开发,激光加工技术也取得了巨大进展。60～70年代是YAG激光器与CO2激光器的时代，主流是金属加工。进入80年代后，准分子激光器登场，发展为利用它的短波长对聚合物、瓷器等非金属材料进行精密加工。进入90年代后，飞秒钛蓝宝石激光器进入了加工领域。其背景是时代对各种材料要求更精密的加工技术以及随着激光技术的进步，可以容易地得到飞秒领域的超短脉冲激光。的确，准分子激光器与以往的YAG激光器及CO2激光器相比，可以用于更精密的加工，但不适合金属材料的加工。而YAG激光器与CO2激光器基本上属于热加工，因此加工精度存在问题。与此相比，飞秒激光与材料的热扩散速度相比，能更快地在激光照射部位注入能量，即使是热扩散较快的金属材料也能提高加工精度。而且，通过利用多光子吸收，还能处理非线性吸收禁带宽的材料。此外，通过利用非线性效应正在开发打破以往激光加工常规的新加工方法。