【摘 要】
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根据4H-SiC刃型位错的特点,在Castep软件中建立了6×6×1的刃型位错模型。基于第一性原理,利用Castep程序对刃型位错的相关性质进行了计算,并与完整晶格的模拟结果进
【机 构】
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西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体技术国防重点学科实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(60876061);预研基金资助项目(9140A08050508);中央高校基本科研业务费资助项目(JY10000925009)
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根据4H-SiC刃型位错的特点,在Castep软件中建立了6×6×1的刃型位错模型。基于第一性原理,利用Castep程序对刃型位错的相关性质进行了计算,并与完整晶格的模拟结果进行了对比。结果表明在引入刃型位错之后,4H-SiC材料的带隙变窄,在靠近导带底部态密度出现了一个新的峰值,这主要是由位错芯处的悬挂键在禁带中引入了一个缺陷能级所致。
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