【摘 要】
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Cu2ZnSnS4（CZTS）具有与太阳光谱非常匹配的禁带宽度以及高的吸收系数,这使得CZTS薄膜成为一种最具潜力的新型太阳能电池薄膜吸收层材料。因此研究和完善CZTS薄膜的制备技术并提
【机 构】
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合肥工业大学电子科学与应用物理学院
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Cu2ZnSnS4（CZTS）具有与太阳光谱非常匹配的禁带宽度以及高的吸收系数,这使得CZTS薄膜成为一种最具潜力的新型太阳能电池薄膜吸收层材料。因此研究和完善CZTS薄膜的制备技术并提高薄膜质量及性能成为重要的研究课题。本文主要介绍四种CZTS薄膜的制备方法：磁控溅射、共蒸发、混合溅射、电子束蒸发硫化法。
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