分子泵加锆铝吸气泵真空系统

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详细介绍了分子泵加锆铝吸气泵真空系统试验过程。对锆铝吸气系抽气性能的测定进行了说尽的说明和讨论。根据实验成果对分子泵加锆钼吸气泵真空系统加以评述。指出,分子泵与锆铝吸气泵互相匹配,对于电子管、或其它电真空器件的排气是较适合的方式。 Details of the molecular pump plus aluminum suction pump vacuum system test process. Described and discussed the determination of the suction performance of zirconium-aluminum aspirating system. Based on the experimental results, the molecular pump plus zirconium-molybdenum suction pump vacuum system is reviewed. Pointed out that the molecular pump and zirconium-aluminum suction pump match each other for the tube, or other electrical vacuum device exhaust is a more appropriate way.
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