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用脉冲激光沉积法制备类金刚石膜及金刚石薄膜
用脉冲激光沉积法制备类金刚石膜及金刚石薄膜
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yp0202
【摘 要】
:
简要评述了用脉冲激光沉积技术制备类金刚石膜及金刚石薄膜的研究进展,总结了激光脉冲沉积制备薄膜的基本原理及其特点,分析了激光波长,能量,衬底温度等对薄膜质量的影响。
【作 者】
:
刘秋香
王金斌
【机 构】
:
湘潭大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
脉冲激光沉积
类金刚石薄膜
金刚石薄膜
Pulsed Laser Deposition
Diamond-like Carbon Film
Diamond Fil
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简要评述了用脉冲激光沉积技术制备类金刚石膜及金刚石薄膜的研究进展,总结了激光脉冲沉积制备薄膜的基本原理及其特点,分析了激光波长,能量,衬底温度等对薄膜质量的影响。
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