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利用溶胶－凝胶法以浸涂方式在玻璃基体上制备了ＳｉＯ２薄膜，研究了某些工艺参数，尤其是加水量Ｒ（水与正硅酸乙酯的摩尔比）对薄膜形成过程及薄膜质量的影响，用ＳＥＭ观察了不同薄膜的微观结构，并结合ＳｉＯ２的溶胶－凝胶过程中聚合物的结构及涂膜特性进行了讨论。
溶胶—凝胶法在玻璃表面涂膜
【摘 要】
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利用溶胶－凝胶法以浸涂方式在玻璃基体上制备了ＳｉＯ２薄膜，研究了某些工艺参数，尤其是加水量Ｒ（水与正硅酸乙酯的摩尔比）对薄膜形成过程及薄膜质量的影响，用ＳＥＭ观察了不同薄膜的微观结构，并结合
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系,清华大学材料科学与工程系,北京,北京
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1999年4期
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