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干法腐蚀的最新进展使其成为微铸模制造中有发展前途的工艺技术，就像ＤＥＥＭＯ工艺展示的那样，高深宽比，方向自由度，低不平度，高腐蚀速率以及对掩模材料的高选择比，使多用的微铸模制作工艺能进一步电镀和模压。ＤＥＥＭＯ是英文缩写，含意是干法腐蚀、电镀和铸模。
DEEMO——一种新的微结构制造技术
【摘 要】
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干法腐蚀的最新进展使其成为微铸模制造中有发展前途的工艺技术，就像ＤＥＥＭＯ工艺展示的那样，高深宽比，方向自由度，低不平度，高腐蚀速率以及对掩模材料的高选择比，使多用的微铸模制作工艺能
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1997年2期
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