用各种氧化物制作平面型结构超导器件

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xionglongyan0817
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据日本《电子材料》1991年第1期报道,日本日立制作所用各种氧化物制作超导三端器件,基本为平面型结构,已观察到称作邻近效应的超导特性.该公司已开发以下技术:(1)采用和高温超导体相同晶体结构的SrTiO_3衬底,在衬底温度约550℃下,采用溅射法和微波 According to Japan’s “Electronic Materials” No. 1, 1991 reported that Japan’s Hitachi production using a variety of oxides for the production of superconducting three-terminal devices, the basic planar structure, has been observed adjacent to the superconducting properties of the company has developed The following technologies: (1) SrTiO_3 substrate with the same crystal structure as that of the high-temperature superconductor was sputtered at a substrate temperature of about 550 ° C and a microwave
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