【摘 要】
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直线电机凭借其优异的传动性能在IC封装设备中被广泛应用,其定位精度直接影响设备的总体精度。为了提高直线电机定位精度,采用Agilent双频激光干涉仪对直线电机的定位精度进
【机 构】
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桂林电子科技大学机电工程学院,北京中电科电子装备有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（50865003）, 广西制造系统与先进制造技术重点实验室主任课题（13-051-09-009Z）
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直线电机凭借其优异的传动性能在IC封装设备中被广泛应用,其定位精度直接影响设备的总体精度。为了提高直线电机定位精度,采用Agilent双频激光干涉仪对直线电机的定位精度进行测试。通过直线电机不同工况下的定位精度进行了测试,发现直线电机进给的速度、加速度的变化对定位精度的影响不大,且定位精度具有累计性。最后,根据功能要求采用分段补偿方法对直线电机定位精度进行误差补偿,试验结果表明该误差补偿方法简单易行。
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