【摘 要】
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利用低能电子束辐照使涂敷在半导体表面的杂质掺到半导体中去的物理现象,既不是熔化型的,也不符合固—固扩散理论,它遵从一个电和热效应的综合效果。本文就电和热效应两方面
【机 构】
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中国科学院微电子中心,中国科学院微电子中心,中国科学院微电子中心,中国科学院电工研究所
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利用低能电子束辐照使涂敷在半导体表面的杂质掺到半导体中去的物理现象,既不是熔化型的,也不符合固—固扩散理论,它遵从一个电和热效应的综合效果。本文就电和热效应两方面分析研究并建立必要的处理模型,通过计算机进行计算和模拟,获得了一些与实际相符的数据。
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