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设计了一套硅片专用真空夹紧装置，包括夹紧装置和微型无油真空抽气泵。为减少硅片在夹紧过程中变形，夹紧装置采用了多吸口、回旋槽的平面型结构；根据所需夹紧力大小，设计了抽速为0．3L／s的微型真空泵，泵内无油避免了对硅片的污染；对间隙返流进行了计算并分析了对泵性能的影响。
硅片真空夹紧装置设计
【摘 要】
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设计了一套硅片专用真空夹紧装置，包括夹紧装置和微型无油真空抽气泵。为减少硅片在夹紧过程中变形，夹紧装置采用了多吸口、回旋槽的平面型结构；根据所需夹紧力大小，设计了抽速为
【机 构】
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合肥工业大学
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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2006年6期
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