【摘 要】
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提出一种改进结构的时分反馈闭环加速度计,该结构使用负系数的PID控制器,只需要一个运算放大器.改进后的结构减小了读出电路的芯片面积,同时省去一个运算放大器和两个大电阻,
【机 构】
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北京大学微纳电子学系微纳米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871
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提出一种改进结构的时分反馈闭环加速度计,该结构使用负系数的PID控制器,只需要一个运算放大器.改进后的结构减小了读出电路的芯片面积,同时省去一个运算放大器和两个大电阻,因此能降低系统噪声.读出电路采用0.35 μm高压CMOS工艺,并包含自检测功能.测试结果显示,在自检测模式下,闭环加速度计的线性度为99.72％.在DC到200 Hz内,输出噪声电压均方根值约为140 μV.
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