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期刊论文
CZ硅单晶中原生缺陷的特性
CZ硅单晶中原生缺陷的特性
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xtt1027
【摘 要】
:
描术了CZ硅单晶中原生缺陷的分类,形成机理及它们对相关器件性能的影响,并就其控制和消除的方法进行了讨论。
【作 者】
:
施锦行
【机 构】
:
中南工业大学应用物理与热能工程系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
硅
原生缺陷
缺陷控制
SiliconGrownin defectsDefects control
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描术了CZ硅单晶中原生缺陷的分类,形成机理及它们对相关器件性能的影响,并就其控制和消除的方法进行了讨论。
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