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介绍了硅－玻璃静电键合的基本原理，阐述了在自建静电键合设备上实现静电键合的过程，结合其在微机械传感器中的应用，讨论了粗糙表面键合技术。
微传感器制造中的硅—玻璃静电键合技术
【摘 要】
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介绍了硅－玻璃静电键合的基本原理，阐述了在自建静电键合设备上实现静电键合的过程，结合其在微机械传感器中的应用，讨论了粗糙表面键合技术。
【机 构】
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清华大学精仪系导航与控制教研室,河北半导体研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年4期
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