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缩小投影电子束曝光机的调试技术
缩小投影电子束曝光机的调试技术
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vovo10
【摘 要】
:
详细介绍了在透射电镜上进行缩小投影电子束曝光技术原理性实验的主要调试过程.它充分利用了透射电镜本身的功能与特点.整个调试方法不仅可获得高分辨率图形,而且为下一步的
【作 者】
:
彭开武
张福安
顾文琪
【机 构】
:
中科院电工所
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2002年4期
【关键词】
:
投影
电子束曝光机
调试技术
透射电镜
TEM
改造
projection electronbeam lithography
adjusting
transmi
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详细介绍了在透射电镜上进行缩小投影电子束曝光技术原理性实验的主要调试过程.它充分利用了透射电镜本身的功能与特点.整个调试方法不仅可获得高分辨率图形,而且为下一步的研究工作提供了比较好的工作参数.
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