BM peeling的改善报告

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CF BM peeling就是在制造BM的过程中,由于BM光阻与基板的附着力不够,造成BM大面积缺失的现象。由于BMpeeling会造成基板和材料的浪费,影响产线的产能,BMpeeling改善就是一个急需解决的问题。
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