光阻材料相关论文
近来尼龙过滤被广泛用于光刻工艺流程来改善良率,因为许多IC和光阻制造商有实验性证据表明尼龙滤膜能吸附杂质。然而,尼龙滤膜降低......
随着光电子技术和精密加工技术的快速发展,光电子元件的尺寸也越来越小,在制作这些元件的技术中,电子束刻蚀作为制备光子晶体最为......
本论文介绍了彩色滤光片的几种比较具有代表性和实用性的制备方法，各种方法的优缺点以及不同制备方法所用的光阻材料。鉴于制备中小......
CF VCD机台(Vacuum Dry Pump)是一种通过真空/低压抽气的方式降低光阻内溶剂沸点以便达到真空干燥的目的,一般VCD机台位于黄光制程......
近年来,显示器技术的设计和关键技术开发迅速推进,显示器关键技术彩色滤光片的工艺水平迅速提高。彩色滤光片是液晶显示器的重要组......
6月26日，江苏博砚电子科技有限公司总经理宗健宣布，该公司通过产学研合作攻克了LCD生产用黑色光阻材料的配方、生产工艺等关键核心技......
近来尼龙过滤被广泛用于光刻工艺流程来改善良率，因为许多IC和光阻制造商有实验性证据表明尼龙滤膜能吸附杂质。然而，尼龙滤膜降低缺......
随着光电子技术和精密加工技术的快速发展，光电子元件的尺寸也越来越小，在制作这些元件的技术中，电子束刻蚀作为制备光子晶体最为稳定......
CF BM peeling就是在制造BM的过程中,由于BM光阻与基板的附着力不够,造成BM大面积缺失的现象。由于BMpeeling会造成基板和材料的浪......
