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在真空状态下，在两个石英坩埚分别装入纯In，In、Sn（Wt=10％）合金，并按所沉积膜的种类（In2O3或ITO）将某一石英坩埚装入加热器，当真空度达到要求后，通入氧气并开启加热器，可在玻璃基板上制备In2O3或ITO薄膜。制备的ITO薄膜的方块电阻为10Ω/□，可见光平均透过率≥90％，制备的In2O3薄膜的方块电阻为35Ω/□，可见光平均透过率≥90％。是太阳能光伏产品及显示器件导电膜的理想选择。