论文部分内容阅读
采用射频磁控溅射方法制备了非晶ＣＮｘ薄膜。利用纳米硬度计研究了薄膜沉积过程中基体负偏压对薄膜硬度和弹性的影响。利用Ｘ光电子能谱分析了ＣＮｘ薄膜的结构。另外，还研究了在微动摩擦实验中振动频率、振幅和载荷对摩擦系数的影响。
CNx薄膜的结构,力学性能和摩擦学性能
【摘 要】
：
采用射频磁控溅射方法制备了非晶ＣＮｘ薄膜。利用纳米硬度计研究了薄膜沉积过程中基体负偏压对薄膜硬度和弹性的影响。利用Ｘ光电子能谱分析了ＣＮｘ薄膜的结构。另外，还研究了在微动摩擦实
【机 构】
：
清华大学摩擦学国家重点实验室
【出 处】
：
真空科学与技术
【发表日期】
：
2000年6期
【基金项目】
：
国家自然科学基金!资助项目 (5 9735 110 )
其他文献
采用新改进的阴极弧金属等离子体源，对９Ｃｒ１８轴承钢进行了金属等离子体浸没离子注入（ＰⅢ）处理，首先将Ｔｉ、Ｍｏ和Ｗ离子分别注入到９Ｃｒ１８钢的表面，然后再对其进行Ｎ等离子体浸没离子注入，从而在９Ｃｒ１８钢表面形成了
<正>在初中英语教学中,要让英语融入生活,教师要营造生活语境,亲身体验,运用英语;让英语融入生活,创作生活习作;关注生活细节,写下生活片段;激发学习兴趣,引起情感共鸣;写话
回顾了真空电子器件二十年来的发展，并对今后七年薄膜与真空器件研究和生产的若干趋势作了扼要的叙述。在电子束管方面，高清晰度显象管、扁平显示管、飞点管、高分辨率、等离子
又到了一年一度的高考招生季，今年招生，网民却“有幸”围观了一场招生引起的骂战，主角是百年学府北大和清华，两所大学的四川招生组在微博上互相指责，称对方进行欺骗、花钱买考生等不正当行为。 6月27日，北大四川招生组通过其官方微博发消息称，“这两天，微信、微博上关于招生大战的讨论极多，某校输红眼之后的做法让人哭笑不得”。同时写下倡议，称“1.真诚为考生服务，不撒谎不抹黑；2.尊重考生本人的选择，不通过
【正】"绿色化学"概念是美国化学会于20世纪90年代初提出的,提出的背景就是化学科学给人类社会带来经济发展的同时,也造成了严重的环境污染。将绿色化学的理念融入到中学化学
１５０Ｋ的低温下，ＮＯ在清洁的Ｒｕ（１０１０）表面的吸附，Ｈｅ－Ⅱ－ＡＲＵＰＳ显示在Ｅｆ以下９．３ｅＶ（σ＋１π）和１４．６ｅＶ（４σ）处有两个峰，表明ＮＯ在Ｒｕ（１０１０）表面上是分子吸附。
<正>关注英语课堂教学的研究,我们不难发现,那些鲜活的课堂教学生态,总是呈现在许多课堂教学的'细节'中间。英语课堂是由无数个教与学的细节组成的,只有做到每个细节
期刊
应用多极场理论，研究了超大偏转角情况下的偏转像差，给出了应用十四极场做七级像差校正时的多极场表达式，计算在多种情况下十四极场对七级像差校正的影响，同时还分析了我极场像差
随着教育事业的发展和改革，传统的教学方法已经无法满足教学的需求。在初中生物教学中，应用生活化教学，可以有效提高学生的学习兴趣，帮助学生明确生物知识在生活中的应用价值，提高初中生物教学的有效性。 一、创建生活化教学情境 根据目前的教学理论，学生在教学中占据主体地位，教师则起到主导作用，通过教师的主导作用，将学生的主体地位和作用在学习的过程中充分体现出来。传统的初中生物教学，教师只是照本宣科地对着
期刊
采用阴极电弧沉积方法，制备了与靶材成分基本相同的多元合金Ｉｎｃｏｎｅｌ６２５膜层。用ＸＲＤ，ＳＥＭ，ＴＥＭ研究了不同入射角下所获膜层中的织构分布及其成因。