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在微机电系统内建立自检系统是提高系统运行可靠性、安全性的重要手段之一。陀螺仪中的Coriolis力和其他惯性力存在一定的差别，即使在恒定的角速度输入下，Coriolis力也是一种动态变化的力。通过一对平板电极，其中，一个平板电极的边缘按照一定的函数变化。当陀螺仪的悬臂梁振动时，其平板间的静电力的变化能很好地模拟陀螺仪中的Coriolis力。有限元分析结果也表明：应用该方法完全能实现陀螺的自检和测试。