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叙述了用测量到的椭偏角ψ及Δ来确定光学薄膜的折射率、厚度和消光系数的方法.该方法收敛较快并节省时间.
分析光学薄膜的椭偏方程的计算方法
【摘 要】
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叙述了用测量到的椭偏角ψ及Δ来确定光学薄膜的折射率、厚度和消光系数的方法.该方法收敛较快并节省时间.
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1984年4期
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