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我们开发了有宽范围的一台测量仪器,高精确,小测量触摸力量。仪器为三维(3D ) 表面地形学测量基于米切尔森干扰原则由一个高精确排水量传感器组成,一个 3D 平台基于垂直扫描,测量和控制电路,和一台工业控制计算机。它是一个关上的循环控制系统,它改变了扫描风格进扫描风格的一个动人的平台的传统的移动尖笔。当细工品被测量时,排水量传感器的杆根据排水量传感器的零偏移量在每样品间隔回到了平衡位置。因此,就算测量范围是宽的,杆的旋转引起的非线性的错误是很小的。仪器能测量粗糙和弄弯的表面的侧面尺寸。