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期刊论文
封装腔体内自由粒子的控制
封装腔体内自由粒子的控制
来源 :电子与封装 | 被引量 : 0次 | 上传用户:z1055622913
【摘 要】
:
本文对陶封电路封装腔体内的自由粒子进行了研究分析,阐述了自由粒子的来源、对粒子数量的控制方法和途径并做了PIND 试验。
【作 者】
:
丁荣峥
【机 构】
:
无锡微电子科研中心三室
【出 处】
:
电子与封装
【发表日期】
:
2001年02期
【关键词】
:
封装腔体
自由粒子
工艺控制
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本文对陶封电路封装腔体内的自由粒子进行了研究分析,阐述了自由粒子的来源、对粒子数量的控制方法和途径并做了PIND 试验。
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