【摘 要】
：
基于掩模台平面光栅尺的位置算法是多元非线性隐函数方程组,针对其解算较困难的问题,工程上常使用迭代法进行数值解算。但随着掩模台扫描速度的提高,迭代法解算会使位置算法
【机 构】
：
桂林电子科技大学电子工程与自动化学院; 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
【基金项目】
：
国家科技重大专项(02专项)子课题(No.2017ZX02101007—003)
论文部分内容阅读
基于掩模台平面光栅尺的位置算法是多元非线性隐函数方程组,针对其解算较困难的问题,工程上常使用迭代法进行数值解算。但随着掩模台扫描速度的提高,迭代法解算会使位置算法引入较大的迭代误差。开展了掩模台位置解算算法对比实验,并设计了位置模型补偿算法。实验结果表明:在10 kHz的采样频率和2. 8 m/s的扫描速度条件下,X,Y和Rz的解算误差分别减少到5. 877E-11m,8. 617E-11m和5. 316E-11rad及以下。
其他文献
制备含锌、硒、钴高水平 (10 0、0 .4、0 .4 PPM)和低水平 (30、0 .2、0 .1PPM)两种复合饲料添加剂 ,并以某商品饲料添加剂为对照。选用 2 8头体重 2 75～ 30 0 kg的夏洛来×南
科克赛铜钼矿位于赛里木湖铜铅锌成矿带,西邻环巴尔喀什湖成矿带,该区发现多处中-小型铜钼矿及铅锌矿。科克赛铜钼矿是近年来发现的斑岩型铜钼矿,本次工作划分4个矿化带,圈定
<正>美国先进细胞技术公司3日宣布,美国食品和药物管理局已批准该公司开展利用胚胎干细胞治疗老年黄斑变性的临床试验。公司首席执行官加里.拉宾当天在某份声明中说,该公司目
<正> 自古以来,河西走廊就是中西交通的必经之地,也是中原王朝向西发展的根据地。从汉武帝建置郡县起,历代封建王朝无不重视河西的经营。明清两代,更致力于河西的开发。本文
课程履历是指学生课程学习的过程和经历,是一种过程意义上学生学习某一门课程的任务性、过程性、规约性的成长经历。课程设计、教学设计和教学实施需要明确学生的课程履历规
<正>近年来,病毒性心肌炎(VMC)发病率呈增高趋势,对人们的健康造成了较大危害。中医学从传统经验中挖掘出的方与药,显示出实用可信的优势。现就该病的用药思路结合治疗体验,
职业经理人引入驱动的组织变革往往以职业经理人的被迫离职而夭折,对企业绩效造成了显著影响。导致高层职业经理人实施组织变革失败的重要原因是缺乏相应的文化变革。企业文
达尔布特一带金找矿前景较好,为进一步扩大找矿,通过分析研究该区金地球化学与地质特征,总结出地层、构造及Au-As-Sb化探组合异常等金找矿标志,有利于找矿勘查工作。
林业发展中病虫害危害极大,每年病虫害会造成大量林业资源的损失,现阶段林业部门主要工作就是病虫害防治。本文中以林业栽培技术为切入点,分析林业工程中常见病虫害的防治措
目的观察慢性意识障碍患者阵发性交感神经过度兴奋综合征(PSH)的发生率,探讨PSH发生的危险因素及其对预后的影响。方法回顾性分析2010年1月至2016年12月收治的142例慢性意识