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高性能聚焦离子束系统(简称FIB)具有许多独特且重要的功能,已广泛地应用于半导体工业中.近年来,FIB在材料科学研究领域也有了广泛的应用.本文主要介绍利用FIB快速制备TEM样品的方法.
聚焦离子束(FIB)快速制备透射电镜样品
【摘 要】
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高性能聚焦离子束系统(简称FIB)具有许多独特且重要的功能,已广泛地应用于半导体工业中.近年来,FIB在材料科学研究领域也有了广泛的应用.本文主要介绍利用FIB快速制备TEM样品
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室(上海)
【出 处】
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第十三届全国电子显微学会议
【发表日期】
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2004年8期
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