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节能膜是一种发展快、用途广的功能膜,苛刻的使用条件对节能膜的稳定性与牢固度提出了高要求。本文讨论离子辅助淀积(IAD)工艺改善节能膜性能的效果——对制备的一系列膜系测试了光学性能、牢固度及表面形貌和成分,说明:IAD比热蒸发(PVD)制备的节能膜功能强。
IAD工艺对于节能膜性能的影响
【摘 要】
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节能膜是一种发展快、用途广的功能膜,苛刻的使用条件对节能膜的稳定性与牢固度提出了高要求。本文讨论离子辅助淀积(IAD)工艺改善节能膜性能的效果——对制备的一系列膜系测
【机 构】
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上海机械学院仪表分院,上海机械学院仪表分院上海航天局803研究所,上海科技大学精密机械工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1991年3期
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