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针对微小内尺度的精密测量问题介绍了非接触式、补偿式与瞄准触发式等几种测量新技术。分析了每一种测量技术的测量机理，通过对其结构设计分析得出该技术适用的测量范围，并对其测量性能进行了讨论；重点分析了瞄准触发式测量技术，并对其性能进行了比较。最后对微小内尺度的精密测量发展方向进行了总结。
精密微小内尺度测量技术研究进展
【摘 要】
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针对微小内尺度的精密测量问题介绍了非接触式、补偿式与瞄准触发式等几种测量新技术。分析了每一种测量技术的测量机理，通过对其结构设计分析得出该技术适用的测量范围，并对其
【机 构】
：
哈尔滨工业大学
【出 处】
：
中国机械工程
【发表日期】
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2010年1期
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