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针对VDMOS-NMOS兼容集成结构建立了对接沟道NMOS晶体管工艺模型,根据其工艺模型,采用面向对象的C^++编程对对接沟道NMOS结构的杂质分布进行了二维数值模拟,给出了不同工艺条件下的模拟结果,并且进行了分析。结果表明,对接沟道NMOS结构能较好地实现VDMOS与p阱NMOS电路的兼容集成。