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8.0nm X射线激光反射镜Mo/B4C多层膜制备及其特性
8.0nm X射线激光反射镜Mo/B4C多层膜制备及其特性
来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qzspk
【摘 要】
:
用磁控溅射法制备工作波长约8.0 nm的Mo/B4C多层膜作为正入射短波长(λ<10.0 nm)软X射线激光反射腔的反射镜.经X射线衍射仪和TEM检测,多层膜周期结构准确,热稳定性高.
【作 者】
:
吕俊霞
马月英
裴舒
沈长斌
曹健林
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械研究所,大连铁道学院
【出 处】
:
原子能科学技术
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
软X射线
Mo/B4C多层膜
磁控溅射法
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用磁控溅射法制备工作波长约8.0 nm的Mo/B4C多层膜作为正入射短波长(λ<10.0 nm)软X射线激光反射腔的反射镜.经X射线衍射仪和TEM检测,多层膜周期结构准确,热稳定性高.
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