【摘 要】
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探讨利用硅表面微细加工工艺制造微型机械的方法，制作了徽涡轮、微传动齿轮、微螺旋弹簧和微凸轮传动机构等微机械结构，实现了齿轮的啮合传动、微弹簧扭转及微凸轮传动机构的运
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探讨利用硅表面微细加工工艺制造微型机械的方法，制作了徽涡轮、微传动齿轮、微螺旋弹簧和微凸轮传动机构等微机械结构，实现了齿轮的啮合传动、微弹簧扭转及微凸轮传动机构的运动。对多晶硅材料的机械物理性能，微机械系统动力学特性进行了测试分析。
In this paper, the method of manufacturing micromachines by micro-machining of silicon surface is discussed. Micromotor structures such as emblem turbine, micro-transmission gear, micro-coil spring and micro-cam transmission mechanism are manufactured. The meshing transmission of gear, micro-spring torsion and micro cam transmission mechanism exercise. The mechanical and physical properties of polysilicon material, the dynamics characteristics of the micro-mechanical system were tested and analyzed.
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