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采用电子束反应蒸发法,(MnO)y(ZnO)1.y(y≥0.3)陶瓷靶作为蒸发源,高Ar含量的Ar/O2混合气为反应气体,在石英玻璃衬底上生长得到Mn含量超过50％(原子分数)的Zn1-xMnxO薄膜。场发射扫描电子显微镜和X射线衍射测量显示x＞0.5的Zn1-xMnxO薄膜呈单一晶相的立方相、岩盐矿结构。这与采用ab initio 方法计算得到的结果一致(作为简化,计算时未考虑Mn的自旋的影响),即对于x≥0.5的Zn1-xMnxO材料体系,其取类MnO的立方岩盐矿结构比取类ZnO的六方相纤锌矿结构更稳定。对石英玻璃基Zn1-xMnxO薄膜的紫外-可见透射光谱测量表明,随着Mn含量从0增大到0.68,Zn1-xMnxO薄膜的光学带隙从3.35eV增大到5.02eV.磁性测量结果表明,所制备立方Zn0.32Mn0.68O薄膜在室温下没有表现出宏观磁性。