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文中介绍了硅微机械谐振真空传感器的特点及配套研制的真空计。利用恒定振幅不测控电路方式，使整机具有良好的灵敏度和可靠性。真空度测量范围接近１０＾２－１０＾－１Ｐａ，测量响应速度为十几毫秒。
硅微机械谐振传感器稳幅式真空计的研究
【摘 要】
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文中介绍了硅微机械谐振真空传感器的特点及配套研制的真空计。利用恒定振幅不测控电路方式，使整机具有良好的灵敏度和可靠性。真空度测量范围接近１０＾２－１０＾－１Ｐａ，测量响应速度为十几毫秒。
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程学系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1999年8期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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