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常r微电调管材料质量影响因素的探讨
常r微电调管材料质量影响因素的探讨
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:snoopyfeile123
【摘 要】
:
本文报道了GaAs常γ电调变容管材料的研究.文中分析了GaAs单晶衬底的质量对外延层表面形貌和外延层-衬底间界面状态的影响;研究了外延工艺条件与外延层浓度分布的关系;讨论了
【作 者】
:
陈桂章
【机 构】
:
南京电子器件研究所
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1990年4期
【关键词】
:
常r电调管
庄控振荡器
GAAS
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本文报道了GaAs常γ电调变容管材料的研究.文中分析了GaAs单晶衬底的质量对外延层表面形貌和外延层-衬底间界面状态的影响;研究了外延工艺条件与外延层浓度分布的关系;讨论了外延层载流子浓度分布对器件C-V特性的影响.文中还给出了材料的制管结果.
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