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文中介绍了目前已发表的,四级场质谱计在133×10<sup>-4</sup>Pa时的结果,测出了四级场质谱计临近上限的线性特性,并对实验结果作出了初步的解释,线性上限由总压强所确定的对稳定离子碰撞损失率所决定,影响线性指数的主要因素是收集极的二次电子发射。
四极场质谱计临近上限的线性特性
【摘 要】
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文中介绍了目前已发表的,四级场质谱计在133×10<sup>-4</sup>Pa时的结果,测出了四级场质谱计临近上限的线性特性,并对实验结果作出了初步的解释,线性上限由总压强所确定
【机 构】
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电子科技大学材料分析与测试中心,电子科技大学材料分析与测试中心
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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1990年3期
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